一、產品介紹

用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗和檢驗，如圖像的放大倍率檢驗與調整、掃描圖像畸變的調整、像散調節(jié)以及樣品臺的復位檢驗等。該標準樣品也是掃描電鏡微米納米長度精確測量的最佳標準樣品、是微米長度測量的最高可溯源級別的量值傳遞工具。是多個國家標準文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等實施所必需的標準樣品。

二、標準樣品用途

1、可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標準樣品。

2、可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質量的個重要工具。

3、可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量。

4、對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉調整功能的檢驗也有較好的作用。

5、利用標樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復位檢驗。

標準樣品基質材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質穩(wěn)定。在對標準樣品進行觀察時，可看到標準樣品具有良好的導電性，并且在掃描電鏡下所產生的圖形具有很好的對比度，在掃描電鏡下或光學顯微鏡下進行多次長時間的觀察后，未見標準樣品圖形或線距結構發(fā)生變形或其他損壞，即標準樣品在電子束重復照射下是穩(wěn)定的。

四、標準樣品均勻性

本系列標準樣品的片內線距均勻性由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進行測量，40μm、20μm、10μm和5μm的線距結構的相對標準偏差分別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間線距的均勻性送國家有色金屬及電子材料分析測試中心掃描電鏡實驗室進行檢查，隨機取10個標準樣品，在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個標準樣品上每種線距結構的圖像，在每個圖像上的不同位置取若干個線距周期測量4個長度數據，其測量結果標準偏差分別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%，S1000微米一亞微米級系列標樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。

五、操作使用

使用前應認真檢查標準樣品表面有無污染物和損壞，因為這會影響校準。請勿使用已破損或有污染物的標準樣品！可用清潔干燥的空氣或氮氣清除標準樣品上的灰塵、碎片或其他污染物，注意不要損壞標準樣品。有條件的實驗室應不定期地通過與其他標準樣品的對比來檢查標準樣品的特性和用法來確定其檢查頻率。

下面8張照片顯示了在不同放大倍率下的漂亮圖形和長度的絕佳精度（放大觀察，蔡司電鏡）。這再次說明，標樣的無比優(yōu)良和掃描電鏡（電子探針）測長的有效性和精確的程度。